متالوگرافی دات آی آر

در ميكروسكوپ های الكتروني الکترون بر سطح نمونه می تابد. بر اساس رفتار الكترون، تغيير شرايط و محيط، روش هاي مختلفي بدست آمده اند. از این جمله می توان  ESEM و SEM ،TEM را نام برد.

ميكروسكوپ هاي الكتروني روبشي (SEM) قابليت آشكارسازي و بررسي ريزساختار كليه مواد را دارا مي­باشند. در اين سيستم، سطح نمونه نبايد عايق باشد، در غير اينصورت بايد با پوشش نازكي از گرافيت يا طلا بر روي سطح نمونه، آن را هادي نمود تا قابليت روبش اشعه الكتروني از سطح آن فراهم شود. در اين ميكروسكوپ بزرگنمايي عمدتاً بين ۱۰ تا ۳۰۰۰۰۰ برابر قابل دستيابي است.

بررسي سطوح شكست نمونه­ها جهت جستجوي علت شكست نيز با استفاده از اين ميكروسكوپ ها امكان­پذير است. به علاوه امكان آناليز عنصري فازها، نمونه هاي كوچك و پوشش هاي فلزي نيز با استفاده از سيستم EPMA (Electron Probe Micro-Analyzer ) ميكروسكوپ و بر اساس طول موج(WDS)( Wavelength Dispersive X–Ray Spectroscopy ) يا انرژي(EDS)(Energy Dispersive Spectroscopy  ) وجود دارد.

در SEM چند مد عمده تصويري وجود دارد كه عبارتند از:

• SE(Secondary Electron) كه با توجه به مسير منحني الكترون ها به سمت دتكتور تصوير حاصله بصورت توپوگرافيكي مي باشد.
• BSE(Backscattered Electron) كه با توجه به مسير مستقيم حركت الكترون ها، تصوير حاصله كمتر حالت توپوگرافيكي دارد. مشخصه بارز اين تصوير تفكيك اجزاي ساختار بر اساس عدد اتمي است؛ بطوريكه مناطق با عدد اتمي بزرگتر، روشن تر ديده مي شوند.
• X-Ray Image ( يا X-Ray Map ) با اسكن سطح توسط الكترون ها، سيگنال هاي X-Ray نيز توليد مي شود.با اندازه گيري انرژي و طول موج اين سيگنال ها طيفي از اشعه ايكس از عنصري كه براي دستگاه مشخص شده بصورت نقاط روشن آشكار مي شود.
• Line Scan كه تراكم يك عنصر را در ناحيه اي از نمونه بصورت خطي نشان ميدهد.