در ميكروسكوپ های الكتروني الکترون بر سطح نمونه می تابد. بر اساس رفتار الكترون، تغيير شرايط و محيط، از روش هاي مختلفي استفاده می شود. از این جمله می توان FESEM و SEM ،TEM را نام برد.
خواص مواد نانوساختاري به شكل و اندازة آنها بستگي دارد. از اين رو مطالعه پيرامون شكل، اندازه و آرايش مواد نانوساختاري از نظر فهم پديده هاي موجود و در نهايت استفاده از آنها در كاربردهاي مختلف ضروري است. روش هاي مختلفي براي تعيين شكل و اندازة ذرات به كار مي رود كه ازجمله آنها مي توان به ميكروسكوپ الكترون عبوري اشاره كرد.
در پژوه شهاي مربوط به خواص مواد نانوساختاري، ميكروسكوپ الكتروني عبوري يكي از مهمترين و پر كاربردترين دستگاه هايي است كه مورد استفاده قرار مي گيرد. در اغلب مطالعات انجام شده روي خواص مواد نانوساختاري براي تعيين اندازه و شكل آنها از ميكروسكوپ الكتروني عبوري استفاده شده است. اين روش اندازه و شكل ذرات را با دقت حدود چند دهم نانومتر بدست مي دهد كه به نوع ماده و دستگاه مورد استفاده بستگي دارد. امروزه در بررسي خواص مواد نانوساختاري از ميكروسكوپ الكترونی عبوري با وضوح بالا (High- Resolution) استفاده مي شود. علاوه بر تعيين شكل و اندازة ذرات به وسيلة ميكروسكوپ الكتروني عبوري با استفاده از پراش الكترون و ساير سازوكارهاي موجود در برخورد الكترون با ماده برخي ويژگي هاي ديگر مواد نانوساختاري مانند ساختار بلوري و تركيب شيميايي را نيز مي توان بدست آورد.
برخي از روش هاي مورد استفاده در ميكروسكوپ الكتروني عبوري براي بررسي ويژگي هاي مواد
عبارتند از:
۱- تصويربرداري (ميدان تاريك و ميدان روشن)
۲- پراش الكترون
۳- پراش الكترون با باريكه واگرا (SAD)
۴- تصويربرداري Phase-Contrast
۵- تصويربرداري
۶- طيف نگاري پاشندگي انرژي اشعة x
۷- طيف نگاري اتلاف انرژي الكترون (EBLS)
